Home >製品情報 >FPDプロセス

FPDプロセス

洗浄装置

■大型マスク洗浄装置（CLMC-）
■大型ブランクス洗浄装置（CLMC-）

  • 本装置は、アシストハンドなどでマスクがロード・ポイントにセットされると、トラバーサにより処理部へロードします。
  • 各処理は、薬液（酸）槽、スクラブ、純水リンス、SC-1槽、純水リンス槽、温水引上げ乾燥を行います。
  • 処理は、バーチカル枚葉処理です。処理後は、アンローダに収納しアシストハンドなどでアンロードします。
特長
  • マスク両面の確実な処理を行います。
  • 薬液は、温調、循環ろ過されます。
  • コンパクトな構造でフットプリントは、最小です。

その他　基板精密洗浄処理装置 及び 関連装置

詳しくは、別途お問合せください。

お問い合わせフォーム

剥離装置

  • 本装置は、アシストハンドなどでマスクがロード・ポイントにセットされると、トラバーサにより処理部へロードします。
  • 各処理は、剥離槽、純水リンス、SC-1槽、純水リンス槽、温水引上げ乾燥を行います。
  • 処理は、バーチカル枚葉処理です。処理後は、アンローダに収納しアシストハンドなどでアンロードします。
特長
  • マスク両面の確実な処理を行います。
  • 薬液は、温調、循環ろ過されます。
  • コンパクトな構造でフットプリントは、最小です。