ドライプロセス

フォトマスク・レチクルプロセス装置

ハードディスクプロセス装置

ウェハプロセス装置

FPDプロセス装置

プリント基板プロセス装置

• 洗浄、コーター、エッチャー、成膜工程などで基板表面の濡れ性改善、有機分解により、プロセス性能を向上させる表面改質装置です。